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            了解一下单晶炉热场结构
            上传作者:2020-06-02 04-35-00 更新时间:handler

            在太阳能光伏行业,的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场能够生长出高质量的单晶,因此创造良好的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的因素。石墨是单晶生长的载体,石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。

            根据实际情况的需要,热场的大小根据石英坩埚的直径大小来划分的,目前我国热场从φ12"~φ28"都有,一般情况下φ18"~φ22"居多。

            我们在这里所讲的单晶炉的热系统就是所谓的热场,热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来防止漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。

            1、加热器

            加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度较高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。一般情况下,加热器采用的高纯石墨加工。

            2、石墨电极

            石墨电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。因此在电极要厚重,结实耐用、表面要光滑平稳,保证良好的接触面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。

            3、石墨坩埚、石墨托杆、石墨托盘

            坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合牢固,对中性良好在下轴进行转动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是可以调节的。

            4、保温罩

            保温罩分为上、中、下保温罩,保温罩是由一个保温筒外面包裹石墨碳毡而成,石墨碳毡的包裹的层数根据情况而定。下保温罩组成了底部的保温系统,它作用是加强锅底保温,提高埚底温度,减少热量损失。

            5、保温盖、导流筒

            保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成,即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。

            6、压环

            石墨压环由几截弧形构成的圆形环状石墨件,放置在盖板与炉壁接触处,是为了防止热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的通过。

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